menu
Пневматические мембранные насосы Almatec Futur для полупроводниковой промышленности
Серия Almatec Futur — это пневматические мембранные насосы, специально разработанные с учетом строжайших требований к чистоте и надежности в полупроводниковой промышленности. Данное оборудование применяется для подачи, циркуляции и фильтрации сверхчистых химических реагентов, агрессивных кислот, абразивных суспензий (slurries) и растворителей. Производство, сборка, очистка и финальное тестирование насосов осуществляются в условиях «чистой комнаты» (класс 100), что исключает любое первичное загрязнение.
Уникальной инженерной особенностью серии Futur является сквозная геометрия потока («straight-through flow pattern»): жидкость контактирует только с одной центральной деталью корпуса. Воздухораспределительная система и воздушные камеры вынесены в боковые части насоса. Такая конструкция сводит к минимуму количество изгибов потока, уменьшает площадь смачиваемой поверхности, исключает трение деталей в рабочей камере и позволяет полностью отказаться от использования уплотнительных колец.
Таблица характеристик
| Размер насоса | 10 | 20 | 50 | 100 |
|---|---|---|---|---|
| Макс. производительность | 10 л/мин | 20 л/мин | 50 л/мин | 100 л/мин |
| Макс. давление нагнетания | 6 бар | 6 бар | 6 бар | 6 бар |
| Высота всасывания (насухую) | 1 м | 2,5 м | 3,5 м | 4 м |
| Высота всасывания (заполн.) | 8 м | 9 м | 9 м | 9 м |
| Номинальный размер портов | 3/8″ | 1/2″ | 1″ | 1-1/4″ |
Максимально допустимые рабочие температуры
| Исполнение | FUTUR H | FUTUR T | FUTUR E | FUTUR F | FUTUR S | FUTUR SH |
|---|---|---|---|---|---|---|
| При макс. давлении 6 бар | 100°C | 100°C | 70°C | 60°C | 80°C | 130°C |
| При макс. давлении 5 бар | 130°C | 110°C | 70°C | 60°C | 80°C | 130°C |
| При макс. давлении 4 бар | 150°C | 120°C | 70°C | 60°C | 80°C | 130°C |
| При макс. давлении 3 бар | 180°C | 130°C | 70°C | 60°C | 80°C | 130°C |
| При макс. давлении 2 бар | 200°C | 130°C | 70°C | 60°C | 80°C | 130°C |
Преимущества
- Исключение контаминации: версии T, H и E выполнены полностью из пластика (PTFE или полиэтилен), что на 100% исключает загрязнение сверхчистых жидкостей ионами металлов.
- Сквозной поток жидкости: минимизирует турбулентность, предотвращает образование частиц и исключает наличие "мертвых зон".
- Бесконтактное каскадное уплотнение: запатентованная технология между камерами обеспечивает герметичность без применения классических стяжных элементов, болтов, гаек или хомутов.
- Надежные мембраны: цельные мембраны из PTFE не имеют внутренних металлических или эластомерных дисков, что снижает риск загрязнения и утечек.
Области применения
- Подача химикатов (серная, соляная, азотная, фосфорная, плавиковая кислоты) в процессах травления кремниевых пластин.
- Транспортировка и циркуляция перекиси водорода.
- Перекачивание суспензий химико-механической планаризации (CMP-суспензии) для полировки пластин.
- Перекачка чистых растворителей во взрывоопасных условиях (модификации из нержавеющей стали).
Материалы
| Исполнение | FUTUR H | FUTUR T | FUTUR E | FUTUR F | FUTUR S | FUTUR SH |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Несмачиваемые части корпуса | проводящий PTFE | ПЭ | ПЭ | проводящий ПЭ | проводящий ПЭ | нерж. сталь |
| Смачиваемые части корпуса | PTFE-TFM | PTFE-TFM | ПЭ | проводящий ПЭ | нерж. сталь | нерж. сталь |
| Мембраны | PTFE | |||||
Часто задаваемые вопросы
Почему в исполнениях Futur T/H/E/F вообще нет металлических деталей?
В полупроводниковом производстве даже следовые количества ионов металлов могут испортить кремниевые пластины. Полностью пластиковая конструкция (без металлических дисков в мембранах и стяжных болтов корпуса) гарантирует отсутствие металлической контаминации.
Могут ли эти насосы работать всухую?
Да, как и большинство насосов Almatec, все модели серии Futur являются самовсасывающими и допускают безопасную работу в режиме сухого хода.